敏芯股份:MEMS热式质量流量传感器在业界的应用 敏芯股份是一家专注于MEMS技术研发的公司,致力于为各种应用提供高精度、高可靠性的传感器解决方案。其中,热式质量流量传感器是公司的一款重要产品。 热式质量流量传感器是一种基于MEMS技术的传感器,可以用于测量高温和高压环境下的质量流量,具有高精度、高灵敏度、高分辨率等特点。该传感器可以广泛应用于工业、化工、航空、医疗等领域,满足各种复杂的测量需求。 敏芯股份的热式质量流量传感器具有以下几个优点: 1. 高精度:该传感器可以实现高精度的质量流量测量,能够满足工业、医疗等领域的精度要求。 2. 高可靠性:该传感器具有良好的可靠性和稳定性,可以保证在恶劣的环境下长期运行而不发生故障。 3. 高灵活性:该传感器可以根据客户需求进行定制,满足各种不同的应用场景和需求。 4. 高智能化:该传感器具有智能化特性,可以通过数据采集和处理,实现数据的可视化和分析,提高测量的自动化程度。 敏芯股份的热式质量流量传感器已经在多个行业得到了广泛应用,例如工业生产中的流程控制、医疗领域中的血液检测、航空领域中的发动机喷油嘴测量等。同时,公司也在不断研发新型传感器,以满足更多客户的需求。 敏芯股份的热式质量流量传感器在业界的应用非常广泛,具有很高的精度和可靠性,可以帮助客户更好地控制流程、提高效率、降低成本。

2023-11-20 09:34:36 苏州敏芯微电子技术股份有限公司

• 热式质量流量传感器是一种利用气体流经加热元器件时，从加热元器件表面带走部分热量，并根据气体流量与换热量之间的关系进行测量的传感器。利用此传感器做成的流量计具有结构简单、压损小、量程范围宽、过载无损害等优点。 基于热交换原理的MEMS质量流量传感器，结构由位于敏感薄膜上的微热源、与微热源对称的上游温度传感器和下游温度传感器以及位于硅基上的环境温度传感器组成。当传感器表面没有气流时，微热源周围的温度场呈对称分布；当传感器表面有气体流动时，气体对微热源有冷却效应，将从微热源带走一部分热量，从而导致微热源周围的温度场对称性被破坏。气体的流速通过上下游温度传感器的温度差计算出来。 产品应用方面，将MFSH01/MFSL01传感器贴在预先定义好的RF4或陶瓷基板上，并将基板放置于精心设计的气体流道中，可实现质量流量的双向测量。它特别适合于具有高可靠性、高精度、宽量程要求的洁净气体的测量和监控，包括汽车空气流量检测、医疗呼吸检测及工业气体测量等应用。 传感器可在恒定功率（CP）和恒定电压（CV）模式下工作，但由于CTD模式可保证传感器有宽的动态测量范围，因而更推荐工作在所述恒温差（CTD）模式。所谓的CTD测量，是微热源的温度高于环境气体的温度，气体流过时带走一部分热量，保持加热元件和被测气体温度差恒定在一定的温差，控制和测量热源提供的功率，功率消耗随流速的增加而增加，由功率的消耗反映气体流速。 在CTD模式工作时，流量模组可非常快速地检测热平衡的任何变化，并通过加热器调整电源功率的，以此测出流速的大小。这种模式可提高质量流量的测量精度以及获得毫秒的响应速度。

  

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